電子顯微鏡，簡稱電鏡,經(jīng)過五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。

電子顯微鏡的組成主要有三部分：鏡筒、真空裝置和電源柜

鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成***個柱體。電子顯微鏡下的纖維電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中***重要的部件。***般使用的是磁透鏡，有時也有使用靜電透鏡的。它用***個對稱于鏡筒軸線的空間電場或磁場使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是***樣的，所以稱為電子透鏡。電子顯微鏡樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上，此外往往還有可以用來改變樣（如移動、轉(zhuǎn)動、加熱、降溫、拉長等）的裝置。探測器用來收集電子的信號或次***信號。

真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成

電子顯微鏡的種類：

按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。

透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析；發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。