在线观看人与动牲交视频_夜夜高潮次次欢爽AV女_奇米在线视频观看_欧美精品七区_色悠久久综合网_少妇潮喷无码白浆水视频

上海非利加實業有限公司Logo

熱門詞: 進口電動溫度調節閥結構圖|進口電動溫度調節閥數據表進口電動高溫調節閥-德國進口電動高溫法蘭調節閥進口電動蒸汽調節閥-德國進口電動蒸汽調節閥

現在位置首頁 >行業動態 >半導體 | 清洗和干燥設備

半導體 | 清洗和干燥設備

2024-09-11 09:21:07

在前段制程中,晶圓在從***個工藝單元轉移到下***個單元之前,總是要進行清洗和干燥的,因此可以說清洗和干燥設備是前段制程中***常用的設備。


***、什么是清洗和干燥設備?

清洗和干燥是***個幾乎所有工藝都會涉及的處理單元。對這些設備的要求是能夠處理多樣的清洗任務,并具有高吞吐量。下面先來看看清洗和干燥設備的概況。

清洗設備的要素

清洗設備所必需的構成要素見下圖,總結如下:

清洗和干燥設備的構成要素--單槽式的批量清洗設備的例子

① 處理系統: 化學槽、沖洗槽、干燥階段(圖中為 Dry)→批量式的情況。噴淋和旋轉等階段→單片式的情況。

② 供給系統: 化學品和純水供應設備、干燥空氣供給設備等。

③ 控制系統: 控制化學品濃度、溫度、顆粒等。

④ 搬運系統: 用于搬運晶圓、晶圓載具、無載具搬運等。

⑤ 其他系統: 空調系統等。

各個清洗和干燥設備所需要素不盡相同。當然,批量式和單片式的設備是完全不***樣的構成。批量式指的是設備對多個品圓同時進行相關工藝的處理,單片式指的是設備對品圓處理是***枚***枚地進行的。對清洗和干燥設備而言,單片式和批量式都是存在的,但是光刻設備基本上都是單片式的。相關內容將在之后的章節中介紹。此外,根據“干進干出”的原則,晶圓在清洗后必須經過干燥后,才能從設備中出來。所以清洗和干燥是***個配套組件。必須干燥的理由是,如果晶圓上有水分,會導致氧化。即便是肉眼看不到的水分,也會造成晶圓的水印(Watermark)。清洗設備的構成要素和其他工藝中的制造設備的比較在下表中進行了總結。由于用到化學品和純水,所以會產生廢液,這和第CMP設備是相同的。

清洗設備的構成要素和其他工藝中的制造設備的比較

清洗和干燥設備的要素

與需要真空系統和氣體供應系統的成膜裝置相比,清洗設備的門檻比較低,所以會有很多制造商參與其中。在半導體行業的早期,清洗過程完全是手工操作,使用燒杯和化學品進行灌注,在水洗后,用氮氣進行吹風干燥。之后才進入清洗設備內置的時代。隨著晶圓的直徑越來越大,對自動化的需求導致設備制造商開始提供清洗設備(盡管也有***部分半導體制造商開始自己制造)。隨著對清洗的附加價值(如單槽)、高性能和新功能(如單片、干燥)的需求變得明顯,設備制造商也成為主流供應商。特別是向300mm 制程過渡,就意味著晶圓搬運和清洗工藝的自動化已不可避免,這種情況下就必然依靠專業設備制造商了。也有這樣的意見:向300mm制程發展導致開發成本急劇上升,現在只有頂***的制造設備制造商才能進入市場。

在工廠中,清洗設備也稱為WS(WetStation)或者WB(Wet Bench)。單片式的設備也稱為自旋處理器(Spin Processor)。

二、清洗設備的分類

雖然有很多不同的分類方法,但是這里介紹的是***般意義上的分類情況。

***般的清洗設備分類

清洗設備不需要特殊的光學設備或者真空系統,只要有化學品和純水(當然還需要排氣、排液等***低限度的輔助設施)就可以進行工作了。也就是這個原因,清洗設備也經歷了手動和半自動的階段。但隨著晶圓的大直徑化,清洗設備也開始由專業的設備制造商進行生產了。***常見的分類是基于晶圓的加工方法,分為批量式(包括半批量式)和單片式,見下圖。

清洗設備分類

清洗設備比較

如上表所示,批量式和單片式兩種設備的取舍在于選擇吞吐量(單位時間內可加工的晶圓數量),還是選擇設備的小型化(減小占地面積)。

這個取舍與其說和技術問題相關,不如說和各個晶圓廠自身的情況有關。例如和無塵室中的設備布局有關。如果有***個相對較大的無塵室,可以選擇***個批量式清洗設備。如果空間太小,可以選擇單槽批量式設備或單片式設備。然而,潔凈室的建造和維護成本很高,而且 300mm 的批量式清洗設備已經變得非常大,占用了大量的地面空間和排氣能力。此外,OTAT(Quick Tumaround Time(快速周轉周期)的縮寫。指快速交貨的生產,也有 Q-TAT 這樣的記法)會選擇單片式設備。這是出于確保制造設備的產能均衡,并縮短交貨時間的考慮。

根據方法論的清洗設備的分類

根據方法論上的分類,可分為兩大類:正常的濕式清洗和干式清洗。高頻蒸汽清洗設備在過去取得了***些成功。紫外線清洗設備在LCD面板陣列工藝(形成液晶開和關的元件 TFT的有源矩陣)中使用得比較普遍。

三、批量式清洗設備

清洗和干燥是在前段制程中***頻繁的工藝。因此減少單枚晶圓清洗和干燥所需的時間就是***個比較常見的需求。在有效減少清洗和干燥時間方面,批量式清洗設備可以發揮很大的優勢。

什么是批量式清洗設備?

批量式是指用于***次加工多個晶圓的工藝設備。晶圓的數量是由載具和工藝室共同決定的。清洗設備的選擇則由載體中可儲存的晶圓數量決定。通常容量是25或50枚。***次性處理大量晶圓的能力意味著可以降低芯片的成本,這對于需要大量晶圓的清洗和干燥類似的工藝來說是***個優勢。

然而,在設備運行方面也存在***些課題。第***個課題是吞吐量的提高。批量式清洗設備需要將晶圓轉移到裝載/裝卸口的特殊晶圓載體上。無論在微環境FOUP還是開放載具中的晶圓都是水平放置的。在清洗過程中晶圓需要垂直地浸入清洗槽,所以需要對晶圓實行調轉方向的操作。這個過程阻礙了設備吞吐量的提高。

第二個課題是清洗耗時和耗材。如果晶圓沾染到載體中的清洗液后,進入純水沖洗槽,清洗則需要很長時間的沖洗才能完全去除化學品。而且對于***個能容納 300mm 晶圓載體的槽來說,化學品的使用量會很大。為了應對這種情況,已經開發出了使用特殊晶圓搬運機器人的無載具清洗機,見下圖。和有載具相比,自然是無載具清洗更有優勢。

無載具清洗設備的示例

① 吞吐量大。

② 清洗和沖洗槽可以按順序排列

也有如下問題

①設備不可避免地變大,對無塵室的負荷會很大

②化學品和純水的使用量很大。

③晶圓在移入和移出浸液槽時,會穿過氣-液界面日

但是可以通過使用單槽式設備避免***些問題,

多槽式批量清洗設備如下圖所示,優點如下。

多槽式批量清洗設備的構成 

多槽式和單槽式

有兩種類型的批量式設備:多槽和單槽。多槽式設備由***系列的化學槽和沖洗槽組成,這些槽按照清洗過程所需的化學品依次排列。因而化學品和沖洗槽的數量增加,這使得設備變得更大,但也充分發揮了批量式設備的優勢。由于清洗設備較大,在無塵室中有較大的占地面積,空調(通風)負荷也較大。根據筆者的經驗,在設計新的半導體無塵室時,***先需要決定清洗和干燥設備的規格和數量。如下圖所示,單槽式清洗設備只有***個化學品槽和***個沖洗槽,解決了設備較大的問題,但每次清洗都需要加入和排放新的不同化學品,化學品的成本較高。盡管不能完全發揮批量式清洗設備的優勢但由于無塵室占地面積的限制,有時也會采用這種系統。如上所述,化學品和純水都是清洗時注人,完成時排出,這樣就***定程度上避免了晶圓在進出浸液槽時穿過氣液界面的問題。

單槽式批量清洗設備的形態

四、單片式清洗設備

批量式清洗設備的吞吐量很大。另***方面,晶圓直徑越來越大,***大可達 300mm,意味著清洗設備必須更大。這就是單片式清洗設備發揮其作用的地方。

什么是單片式清洗設備?

與***次性加工多枚晶圓的批量式設備相比,單片式是***種將晶圓逐***處理的方法,見下圖。設備的組成部分與批量式相同。不***于清洗設備,從晶圓直徑增大到200mm 左右以后,單片式設備的使用量在增加,當然這種趨勢也體現在了清洗設備上。因為隨著晶圓直徑的增大,整個晶圓表面的加工結果變得不太均勻。單片式設備可以認為是這種不均勻加工的***種對策。另外,批量式設備的優勢可以在大規模生產相同芯片(例如存儲器)的巨型晶圓廠中得到發揮,但是像ASIC這樣量少樣多的LSI的生產過程中反而沒有那么大的優勢。

單片式清洗設備的形態

QTAT生產線出現了采用單片式設備的趨勢。然而,與批量式設備相比,如何縮短每個晶圓處理所需的時間,或者說,在單位時間內增大可處理的晶圓數量(吞吐量)成為生產效率的***個難題。單片式設備的優點如下。

① 沒有化學品導致的顆粒和清洗槽之間的污染轉移。

②易于刷子和超聲波設備的裝載。

③ 節省空間,降低對無塵室的負荷(排氣量)。

④可以與其他工藝設備集群。

⑤具有高度的加工靈活性。

但也有如下缺點。

①化學品等循環的實現比較復雜

②化學品的回收和濃度控制比較困難,

③難以監控和控制晶圓的清洗效果(清洗后的潔凈度)。

在批量式清洗設備中,晶圓被浸入化學槽或純水槽中,而在單片式設備中,晶圓的處理則是噴霧式的,見單片式清洗設備圖。從處理順序的角度來看,即便是單片式設備,在進行下***輪清洗的同時,總是要用純水對上***輪殘留化學品進行沖洗的。這種方式有效地消除了批量式設備中通過晶圓載具對晶圓進行搬運轉移時遇到的問題,參下圖。

批量式和單片式的排列布置比較

單片式干燥設備

在單片式清洗設備的情況下,干燥設備不是批量式清洗設備中使用的IPA干燥,更常見的是***種稱為旋轉干燥的方法。后面給出了各種干燥方法的比較。

關于縮寫,目前為止的清洗流程以RCA清洗為例。它是由RCA公司的Kern和Puotinen在1960年提出的。

APM: 氨水/過氧化氫。

HPM: 鹽酸/過氧化氫。

DHF: 稀氫氟酸。

五、新型清洗設備

環境和能源問題使得清洗設備必須節能省料(化學品)。比較可行的***個思路就是干洗,這里將介紹三種干洗的方法。

高頻蒸汽清洗設備

這是***種由來已久的干洗方法。用來去除晶圓表面和細孔中自然形成的氧化膜。表面氧化膜的去除屬于晶圓氧化或者 CVD成膜的前處理。細孔的氧化膜去除則屬于濺射成膜的前處理。這種方法是在工藝室中引入無水氟化氫(anhydrous HF)氣體和水蒸氣,這些氣體在晶圓表面形成 HF 和 H2O的凝結層,氧化膜會被凝結層中的稀氟化氫腐蝕,從而達到去除的效果。***后反應產物 SiF4會和多余的H2O***起氣化。因為沒有水滴,所以不會形成水印,而且裸晶圓在表面還能形成氫終止(通過將氫原子結合到硅表面來穩定硅的過程,因為硅原子有***個額外的共價鍵),但是現在好像已經沒有這種設備在賣了。

紫外線(UV)/臭氧清洗設備

***近,通過 UV照射進行干洗的方法引起了人們的注意。具體做法是在臭氧(O3)包圍的環境中用 300nm 以下波長的紫外線照射晶圓。由于干式工藝不需要真空設備或其他的輔助設備,***近已開始廣泛使用。它能有效地去除有機污染,比起半導體工藝,在TFT(TFT:Thin Film Transistor(薄膜品體管)的縮寫,用于驅動液品顯示器(LCD)。)工藝中使用得更多,見下圖。

UV/臭氧清洗設備的概要

超低溫氣溶膠清洗設備

其想法是,氙氣通過低溫條件形成氬冰顆粒,然后通過噴嘴吹到晶圓上,利用顆粒的物理作用進行清洗。這個想法已經存在了很長時間。不需要使用化學品,這有助于減少對環境的污染。而且氬冰顆粒在加熱氣化后無殘留。下圖顯示了這***過程的概況。為方便起見,圖中只畫了***個噴嘴。市面上的設備***般都是使用覆蓋整個晶圓的***個大的噴嘴來提高效率,但是吞吐量可能沒有那么理想。另外還有***種利用CO2的臨界狀態進行清洗的方法,但目前還沒有商業化。當然,這些干洗設備是否能應用于所有的清潔工藝并足夠有效,還有待觀察。

超低溫氣溶膠顆粒清洗設備的概要

晶圓廠中各式各樣的清洗設備

本內容以制造設備為重點介紹了相關的晶圓清洗設備,但晶圓廠除了這些清洗設備以外,還需要各種各樣的夾具、晶圓盒和其他清洗設備。其中還有大型的清洗設備:芯管清洗系統,它清洗熱壁型成膜設備和熱處理設備中的石英爐管。

六、清洗后必備的干燥設備

“干進干出”的原則是指晶圓在清洗后必須先將其烘干,才能從制造設備中取出來,這意味著清洗和干燥設備是配套的。

都有哪些干燥設備?

前面提到過IPA(IPA:iso-Proply Alcohol(異丙醇,***種易燃的有機溶劑)的縮寫)干燥,但干燥有很多種方法。各種干燥方法總結在下表中,每種方法都有自己的優缺點。使用***多的方法是旋轉干燥和IPA 干燥。新型的馬蘭戈尼干燥法將在下***節中討論。

旋轉干燥法

在旋轉干燥法中,晶圓被放在特殊的盒中,以高速旋轉來吹走水分。這種方法可用于單片式和批量式。在單片式中,每枚晶圓都以高速旋轉,并利用離心力去除水分。在批量式中,則是整個晶圓載體(如果沒有足夠的晶圓,則用平衡晶圓補足)高速旋轉。這類似于洗衣機的脫水和干燥。這種方法利用旋轉產生的離心力和ji晶圓表面附近的氣流來干燥。這種方法的問題是有許多旋轉部件可能成為灰塵的來源,而且不可避免地會產生靜電(回想***下摩擦塑料尺來吸引紙片或頭發的實驗)。靜電會導致顆粒吸附在晶圓表面。

IPA 干燥法

在IPA干燥法中,晶圓表面的水分被揮發性的IPA蒸汽取代。這消除了對高速旋轉的需要,并消除了靜電問題,但使用IPA這種化學品也可能成為***個問題。下圖顯示了單片式旋轉干燥設備和IPA干燥設備的概況。

干燥設備概念圖

七、開發中的新型干燥設備

***近干燥工藝也正在從環境的角度被重新審視。節能的干燥技術成為關注的焦點。尤其是在努力減少IPA有機物的使用這***方面。

馬蘭戈尼設備的要素

馬蘭戈尼(Marangoni)干燥法之所以被稱為馬蘭戈尼,是因為它使用了馬蘭戈尼力(由表面張力的梯度產生的***種力。由這種力引起的流動稱為馬蘭戈尼流)。在這個過程中,晶圓從沖洗的純水槽中被迅速提升到IPA和氮氣流的空間中,水被產生的馬蘭戈尼流去除。下圖顯示了馬蘭戈尼干燥法的機制,它的優點是比IPA 干燥法使用的IPA 少(當然 IPA也是使用的)。這種方法是在20世紀 90年代末由歐洲設備制造商引入市場的。為方便起見,圖中只顯示了***個晶圓,但馬蘭戈尼干燥法是***種在批量生產中具有很大優勢的干燥方法。

馬蘭戈尼干燥設備的概要

Rotagoni 干燥設備的要素

Rotagoni 干燥法是另***種在歐洲發明的干燥方法。它結合了旋轉干燥法和馬蘭戈尼干燥法。其機制如下圖所示。當晶圓在單片式旋轉干燥設備中高速旋轉時,純水和IPA蒸汽從噴嘴噴出,使 IPA蒸汽朝向晶圓的外圍。因此,Rotagoni 干燥法是***種適用單晶圓的單片式工藝。在這個過程中,馬蘭戈尼力是沿著晶圓外圍的方向產生的,所以馬蘭戈尼干燥法也是在同時進行的。這種方法與馬蘭戈尼干燥法相比,因為加入了旋轉干燥法,所以可進***步減少 IPA 的使用。從環境和能源的角度來看,未來將需要對環境影響更小的干燥方法。

Rotagoni 干燥設備的概要


(文章來源于儀器網)

(來源:


主站蜘蛛池模板: 一区在线播放视频_天堂网色_日韩国产网站_国产国语一级A毛片高清视频_色777狠狠综合秋免鲁丝_免费特级黄色片_久久亚洲第一_caoporn国产免费 | 99综合视频_综合精品欧美日韩国产在线_欧美精品久_国产精品免费麻豆入口_中文字幕二区在线观看_欧美天堂影院_不卡三区_亚洲高清无码久久成人精品 | 久草高清_中文字幕无码中文字幕有码在线_日韩成年视频_91成人在线免费观看_日本爽爽爽爽爽爽在线观看免_特大黑人娇小亚洲女_91亚洲国产成人_精品少妇亚洲乱码 | 肉体裸交137日本大胆摄影_91黄色毛片_国产成人一区二区三区在线_欧美成人另类视频_中文字幕免费看_欧美精品成人影院_久久16_成人国产精品免费观看 | 日韩精品A片一区二区三区_国产极品粉嫩福利姬萌白酱_国产欧美在线高清_国产青草亚洲香蕉精品久久_天天综合亚洲综合网天天αⅴ_久久综合伊人_人妻精品久久久久中文字幕_欧美日韩网 | 97精品国产三级A∨在线_欧美一级专区_国产九九99久久99大香伊_宝贝腿抬高点让我爽一点麻豆_97青草超碰久久国内精品91_成人免费乱码大片a毛片视频网站_av三级_久在线中文字幕乱码免费 | 奇米在线免费视频_日日草影院_日日噜噜夜夜狠狠va视频v_av在线免费观看不卡_一本加勒比HEZYO无码资源网_蜜桃视频在线观看www_午夜综合_国产情侣自拍小视频 | 小妹色播_93看片淫黄大片一级_富婆偷人对白又粗又大视频_99热热_91精品国产一区二区三区免费_国产优质老熟_天才女友第四季在线播放_亚洲国产91视频 | 超碰在线97中文字幕_天天草夜夜草_亚洲精品久久久久久久久久久久_四韩色情无码一区二区三区_国产精品久久久久久久7777_欧美国产日韩在线三区_7777偷窥盗摄视频_97在线视频免费 | 俺也去俺来也www色官网_国产精品久久久久激情影院_小荡货好紧好爽奶头大视频_亚洲免费精品一区_欧美群妇大交乱视_国产一区视频播放_一区二区三区四区欧美日韩_亚洲欧美日韩系列中文字幕 | 亚洲永久精品一区_亚洲精品永久免费_一本大道伊人久久综合_国产精品99久久99久久久动漫_亚洲七久久之综合七久久_超碰网站在线观看_日日日视频_成人做受黄大片 | 免费观看一次性A片_少妇无码AV无码一区_91国在线观看_一级黄色录相_久久久久久久久成人网A片_2020最新国产原创青草_久久久久久久久久久大尺度免费视频_成人av地址 | 99无码熟妇丰满人妻啪啪_色综合天天综合网无码在_啪啪免费网_成人无码WWW免费视频苹果版_免费一级特黄特色的毛片_天堂av网2019_国产精品久久久久久久99_一区二区三区免费在线播放 | 欧美精品毛片久久久久久久_日韩人妻中文无码一区二区七区_久草最新在线_5566先锋影音夜色资源站在线观看_亚洲乱码国产乱码精品精可以看_国产精品呻吟高潮_成人看片黄A免费看那个网址_久久欧美AⅤ无码精品色午夜麻 国产成人一区二区三区影院动漫_国产成人在线视频免费观看_久久99女女久久99久久_www.久久爱.com狼人_国产又爽又刺激的视频_日韩中文在线观看_天天草天天爱_狠狠爱天天操 | 中文天堂最新版www_男人把女人桶到喷白浆的软件免费_永久黄网站免费视频性色_美女扒开尿眼让男人桶爽视频_永久免费观看av_中文字幕一区二区三区精品_香蕉国产影院_www.亚洲91 | 又湿又紧又大又爽A视频_色八区人妻在线视频免费_玩弄丰满少妇XXXXX性多毛_美女av影视_午夜好爽好舒服免费视频_亚洲一区二区麻豆_97精品在线_日本免费小视频 | 法国《性迷宫》在线观看_亚洲色欲天天天堂色欲网_av永久免费在线观看_JIZZ国产精品_国产精品视频三区_免费无码毛片一区二三区_风间由美久久久_黄色片av网站 | 中国chinese4p交换video_中文在线天堂资源_丁香伊人_久久精品免视看国产成人_精品乱码一区二区三区四区_亚洲一区二三区_最近免费中文字幕MV在线视频1_人人插超碰 | 裸体在线国模精品偷拍_国产欧美日韩一区二区在线_国产高清无码专区_成人免费xxxxxx视频_免费同性男男自慰网站_日本网址在线观看_国产亚洲AV无码乱码在线观看_大卫科波菲尔1999 | 久热这里只有精品12_麻豆国产在线视频_国产日韩欧美精品一区_成年片色大黄全免费网无需安装_久久伊人少妇熟女大香线蕉_在线不卡中文字幕一区_欧美大胆丰满熟妇XXBB_国产精品久久中文 | 免费国产一区二区三区_91影视看片_人妻中出无码一区二区三区_欧美色人_精品一区中文字幕_色香蕉成人二区免费_浮生影院观看免费_青青在线视频免费 | 人妻暴雨中被强制侵犯_久久久久久久无码高潮_欧美xxxx做受欧美88bbw_国产男女猛视频在线观看_啦啦啦免费视频播放_99视频福利_99re这里只有精品在线_老司机成人精品视频 | 亚洲成人黄色网_vagaa亚洲亚洲色爽免影院_亚洲国产精品一区在线_美女十八毛片_久久成人福利视频_人人澡人人添人人爽一区二区_五十六十日本老熟妇乱_国产精品第一视频 | 色综合狠狠爱_国产精品又又酱在线午夜_野外少妇愉情中文字幕_在线观看国产精品一区二区_开心五月综合亚洲_一本久久a久久精品亚洲_成人免费在线网_国产精品人妻熟女毛片av久久 | 天天噜日日噜狠狠噜免费_免费看成人AA片无码视频_国产第二十页_日韩欧美一级在线_日本a一级在线免费播放_欧美久久精品一级黑人c片_诱惑网综合_骚av在线 | 日本亚洲9999aⅴ_亚洲欧美99_欧美嫩交一区二区三区_亚洲成人免费网站_日本三级视频在线观看_免费黄色一级片_国产无人区卡一卡二卡三乱码_亚洲精品成人久久一区二区 | 特级黄视频_中文字幕av免费_日本夜夜精_国产一二区_亚洲天堂网站_五月婷婷俺也去开心_日本熟妇XXXXX乱_最新国产小视频 | 一个人免费观看视频WWW中文_性xxxxbbbb欧美熟妇_有人有在线观看的片吗WWW_幻女bbwxxxx另类_国产精品久线在线观看_天天干干_91国自啪_色小妹av | www.成人_亚洲人成网77777亚洲色_色播国产_国产免费一区二区三区视频天天爽_8av国产精品爽爽ⅴa在线观看_亚洲无毛av_成人AV毛片无码免费网站_国产V一区二区三区在线 | 黑人巨茎精品欧美一区二区_小情侣高清国产在线播放_亚洲区欧美区综合区自拍区_视频一区中文字幕_超碰caoporn久久_亚洲AV成人无码网站在线_国产精品丝袜高跟鞋_九一精品在线观看 | 国产高清精品亚洲一区二区三区_国产12孩岁A片被A午夜_九九精品无码专区免费_免费观看爱爱视频_亚洲日本va中文字幕在线_一级毛片小说_色偷偷av亚洲男人的天堂_欧美在线国产精品 | 狠狠爱亚洲五月婷婷av_毛茸茸性XXXX毛茸茸毛茸茸_午夜精品久久久99热福利_国产日韩高清一区二区三区在线_一区二区麻豆_性无码免费一区二区三区屯线_免费观看9x视频网站在线观看_私人成片免费观看 | 国产综合亚洲精品一区二_久久天天躁夜夜躁狠狠躁2024_亚洲AV无码成人黄网站在线观看_亚洲精品一区人人爽_国产精品国内免费一区二区三区_日本一本区_韩国av在线播放_欧美人与动欧交视频 | 一区在线播放视频_天堂网色_日韩国产网站_国产国语一级A毛片高清视频_色777狠狠综合秋免鲁丝_免费特级黄色片_久久亚洲第一_caoporn国产免费 | 一级毛片在线看_国产精品毛片无码_国产99久久_91精品国产91久久久久久丝袜_国产精品成人一区二区三区_亚洲国产一区二区三区四区四季_99精品人妻无码专区在线视频区_欧美屁股xxxxx | 中国少妇做受XXXXX69小说_欧美日韩中出_精品欧美日韩精品_亚洲AV手机在线观看不卡_3bmm在线观看视频免费_永久免费无码AV在线网站_日韩狠狠_日本中文字幕在线播放 | 在线观看91精品国产麻豆_少妇p毛又多水又大又黑_超碰91人人_segui88久久综合_国产JIZZJIZZ麻豆全部免费_国产精品一区二区三区av麻_色多多污_四虎www4hv | 中文字幕三区_无码人妻久久久一区二区三区_国内揄拍国内精品人妻_porn麻豆_国产精品性夜天天视频_大陆老太XXXXXHD_91丨国产丨精品入口_精品久久久久久久免费人妻 | 国产精品久久久久国产精品三级_免费观看老乱熟视频_日韩精品在线视频观看_天海翼精品一区二区三区_亚洲一线视频_四虎伊人_国内精品小视频_人妻出轨和黑人疯狂做国产人 国产精品国产三级国产av′_www国产精品_www.精品视频_奇米在线7777在线精品_性生交裸片免费看_91爱观看在线_夜夜草影院_中文字幕亚洲日本 | 总裁和秘书办公室激情h_欧美一级特黄a大片_综合久久久久久久久久_男女免费观看在线爽爽爽视频_一二三四在线播放免费观看中文版视频_www.在线观看视频_久草视频免费在线观看_Y111111少妇影院无码 | 久久人妇_激情动漫_国产精品福利在线观看无码卡一_欧美日韩在线二区_国产精品aⅴ_天天爱夜夜爱_又爽又黄又无遮挡的视频在线观看_艳魔大战春荡女淫3 |