隨著機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的蓬勃發(fā)展，如何準(zhǔn)確獲得MEMS 材料力學(xué)性能參數(shù)成為當(dāng)今研究的熱點(diǎn)。由于尺度微小，試樣的夾持、載荷的施加和測(cè)量、位移的測(cè)量等問題十分突出。本文對(duì)當(dāng)今MEMS力學(xué)性能研究中***些典型的微測(cè)試方法，如納米壓痕法，單軸拉伸法、鼓膜法、微梁彎曲法及襯底曲率法等分別進(jìn)行了闡述，詳細(xì)介紹了這些方法的原理、優(yōu)缺點(diǎn)以及可測(cè)得的力學(xué)性能參數(shù)。

MEMS是由特征尺寸在亞微米至毫米范圍內(nèi)電子和機(jī)械元件組成的微器件或微系統(tǒng)，它將傳感、處理與執(zhí)行融為***體，以提供***種或多種特定功能。它興起于20世紀(jì)80年代末期，近20年來得到了飛速的發(fā)展，有些成熟的器件或系統(tǒng)已經(jīng)商品化，并具有廣泛的市場(chǎng)需求。應(yīng)當(dāng)強(qiáng)調(diào)指出，MEMS并非傳統(tǒng)意義下宏觀機(jī)電系統(tǒng)的簡(jiǎn)單幾何縮小，機(jī)械尺寸微小型化以后，***先，構(gòu)件材料本身的物理性質(zhì)及其對(duì)環(huán)境變化的響應(yīng)將有很大改變；其次，MEMS的力學(xué)特性和構(gòu)建在環(huán)境介質(zhì)中的行為以及所受體積力和表面力的相對(duì)關(guān)系等均發(fā)生變化；另外，由制造工藝和技術(shù)難度而造成構(gòu)件間的幾何誤差和接觸摩擦等因素；同時(shí)，很多傳統(tǒng)的材料力學(xué)性能測(cè)試方法和測(cè)試儀器已經(jīng)不再適用。目前測(cè)試所得微構(gòu)件材料的力學(xué)性能參數(shù)存在以下問題：***是已獲得數(shù)據(jù)從品種、項(xiàng)目上都很不完全，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足應(yīng)用需要；二是現(xiàn)有數(shù)據(jù)是在各自不同的的工藝條件下。試樣尺寸和測(cè)試儀器下獲得的，缺乏通用性和權(quán)威性；三是MEMS的新材料、新工藝層出不窮，目前缺乏***種快速響應(yīng)機(jī)制來收集，確認(rèn)新數(shù)據(jù)。因此，在進(jìn)行MEMS設(shè)計(jì)時(shí)，由于缺乏有關(guān)微構(gòu)件材料力學(xué)性能的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)，目前還沒有建立起有效的機(jī)械可靠性設(shè)計(jì)準(zhǔn)則，嚴(yán)重阻礙了MEMS的發(fā)展。

納米壓痕法利用納米壓頭壓入試件表面，通過高分辨率的位移和力傳感器得到壓入深度和載荷的關(guān)系，根據(jù)載荷-壓入深度曲線和接觸面積可由彈性接觸理論推算出材料的硬度、彈性模量。為了減少襯底對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響，壓入深度應(yīng)小于膜厚的10%或20%。納米壓痕技術(shù)相對(duì)比較成熟，并已成功商業(yè)化，但理論分析模型有待進(jìn)***步改進(jìn)。

單軸拉伸試驗(yàn)是獲得薄膜力學(xué)特性zui直接的方法，主要用于研究與襯底脫離的獨(dú)立薄膜構(gòu)件的力學(xué)行為。通過記錄應(yīng)力應(yīng)變關(guān)系曲線，可以測(cè)得試件的彈性模量、泊松比、屈服強(qiáng)度和斷裂強(qiáng)度。雖然拉伸試驗(yàn)的數(shù)據(jù)容易解釋，沒有過多的理論假設(shè)，數(shù)據(jù)通用性好，但是由于試件尺寸太小，傳統(tǒng)的拉伸實(shí)驗(yàn)設(shè)備在很多方面已不能滿足需要，例如載荷力和位移的檢測(cè)精度以及試樣的制作、對(duì)中、夾持和保護(hù)等。根據(jù)實(shí)驗(yàn)試件和裝置的不同可劃分為以下四種。

a、直接單軸拉伸法

b、轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)法

c、薄膜偏轉(zhuǎn)試驗(yàn)（MDE）

d、集成拉伸法

鼓膜實(shí)驗(yàn)通常稱之為兩軸拉伸試驗(yàn)，由Beams于1959年提出。如圖所示，從***側(cè)用氣體或液體對(duì)薄膜進(jìn)行加壓，通過測(cè)量壓力和凸起高度的關(guān)系，轉(zhuǎn)換得到應(yīng)力應(yīng)變曲線，可以得到薄膜的屈服的強(qiáng)度和斷裂強(qiáng)度。鼓膜實(shí)驗(yàn)所需的夾持和加載設(shè)備比較簡(jiǎn)單，消除了試件的邊緣效應(yīng)，避免襯底材料的粘著問題和因試樣邊緣損傷與缺陷所引起的早期縮頸失穩(wěn)現(xiàn)象。但是薄膜的殘余應(yīng)力必須是拉應(yīng)力，實(shí)驗(yàn)結(jié)果的解釋也比較復(fù)雜，理論模型還需改進(jìn)。

微量彎曲法在宏觀力學(xué)性能測(cè)試中是***種常用的測(cè)試方法，已經(jīng)形成***系列測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。在MEMS材料的測(cè)試中，彎曲方法也是較早發(fā)展起來的常用測(cè)試方法。按作用方式的不同可分為以下三種。

1、納米壓頭加載

2、靜電加載

3、動(dòng)態(tài)諧振加載

薄膜中的殘余應(yīng)力會(huì)造成襯底的彈性彎曲，對(duì)薄膜力學(xué)性能的測(cè)量影響很大。通過測(cè)量薄膜生長(zhǎng)前后襯底撓度或曲率半徑的變化，可以測(cè)量薄膜內(nèi)的平均殘余應(yīng)力，這種方法被稱為襯底曲率法。根據(jù)Stoney公式，襯底曲率半徑正比于薄膜的內(nèi)應(yīng)力。襯底的曲率半徑可以通過光學(xué)或電容方法較精確測(cè)量。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是只要知道薄膜的厚度就可以得到薄膜的應(yīng)變。襯底曲率法只能測(cè)量薄膜的平均應(yīng)力和應(yīng)變，***于熱膨脹或基體和薄膜的生長(zhǎng)失配，當(dāng)殘余應(yīng)力較小時(shí)，會(huì)帶來較大的誤差。

    本文對(duì)***些典型的MEMS測(cè)試方法進(jìn)行了闡述，并概括了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。由于材料或結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能對(duì)于MEMS的設(shè)計(jì)、加工和可靠性有著非常重要的影響，隨著MEMS的發(fā)展，這些測(cè)試方法也需要進(jìn)***步完善，并逐步實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化。

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