***、情況簡(jiǎn)介 ：
CX-200系列掃描電鏡是在CX-100***核心技術(shù)基礎(chǔ)上，創(chuàng)新調(diào)整了產(chǎn)品構(gòu)架，性能進(jìn)***步提高，2010年圓滿實(shí)現(xiàn)預(yù)定研發(fā)目標(biāo)，達(dá)到當(dāng)前同類(lèi)產(chǎn)品的頂***水平，2011年初正式向市場(chǎng)推廣。作為COXEM公司***新主力型產(chǎn)品，共分為4個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化子型號(hào)。
CX-200TA型全自動(dòng)掃描電鏡：渦輪分子泵+自動(dòng)臺(tái)
CX-200DA型全自動(dòng)掃描電鏡：油擴(kuò)散泵+自動(dòng)臺(tái)
CX-200TM型半自動(dòng)掃描電鏡：渦輪分子泵+手動(dòng)臺(tái)
CX-200DM型半自動(dòng)掃描電鏡：油擴(kuò)散泵+手動(dòng)臺(tái)
具有世界***流水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡，適合多種需求類(lèi)型的客戶選購(gòu)。
在選購(gòu)時(shí)，您需要考慮的問(wèn)題：
實(shí)驗(yàn)室掃描電鏡，在基本性能滿足需要情況，科學(xué)定義其優(yōu)劣的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)該上升到掃描電鏡的工作效率問(wèn)題，這個(gè)問(wèn)題往往被忽視，***般只提性能如何優(yōu)越，然而優(yōu)越的性能是高效的基礎(chǔ)。
對(duì)掃描電鏡工作效率分析如下
1、搜索樣品感興趣點(diǎn)的速度，樣品臺(tái)自動(dòng)化程度越高，效率越高。計(jì)算機(jī)導(dǎo)航坐標(biāo)定位馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)要優(yōu)于單純的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)要優(yōu)于手動(dòng)。
2、高質(zhì)量圖像獲得的效率：電子光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)化，或者更高的性能來(lái)提高效率。如熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡看2萬(wàn)倍，可以在2TV掃描速度下，清晰成像，而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬(wàn)倍圖像，要清晰成像，光保存***幀圖像需要20秒以上，還不要說(shuō)調(diào)整電子光學(xué)參數(shù)的功夫，如果不明就里，拿過(guò)來(lái)兩個(gè)圖像來(lái)比較，可能很難分出伯仲，因此有的人會(huì)說(shuō)，在2萬(wàn)倍水平上，鎢燈絲掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡區(qū)別不大，這個(gè)前提就是忽略客戶的效率需求，比如工廠做晶圓上的芯片檢測(cè)，這里邊就有了效率需要，雖然***般檢測(cè)可能只看2萬(wàn)倍，但對(duì)效率提出很苛刻的要求，鎢燈絲根本不能勝任。
3、系統(tǒng)真空獲得的效率：渦輪分子泵相對(duì)擴(kuò)散泵具有明顯優(yōu)勢(shì)。
3.1、眾所周知，渦輪分子泵可隨時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)，油擴(kuò)散泵開(kāi)關(guān)機(jī)受到泵油升溫和冷卻的限制（開(kāi)關(guān)機(jī)***個(gè)來(lái)回至少要等50分鐘），因此要么就開(kāi)***天，要么***開(kāi)就至少半天，半天如果只需要做***個(gè)小樣，照***張照片，那效率就更低了；除非擴(kuò)散泵長(zhǎng)期不關(guān)機(jī)，例如2-3個(gè)月，真空泵總保持啟動(dòng)，那么效率還是很高的，這需要特殊照顧。
3.2、真空潔凈度對(duì)效率影響：渦輪分子泵真空潔凈度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于油擴(kuò)散泵。泵油蒸汽分子，在電子束作用下分解為碳?xì)浠?，污染樣品和?**光闌。電子束掃描樣品時(shí)，會(huì)被電子束誘導(dǎo)沉積到正在觀察的樣品區(qū)域表面，越高倍，沉積速度越快，污染降低se產(chǎn)額，從而降低成像分辨率；末***光闌在電子束作用下，***容易沉積污染物，污染的隨機(jī)變化，在高倍引起的象散需要隨時(shí)進(jìn)行校正。往往高倍需要逐***消象散，在***個(gè)區(qū)域調(diào)節(jié)電鏡參數(shù)到***佳，然后迅速電位移到就近區(qū)域掃描存儲(chǔ)圖像，這降低操作效率
3.3、也同樣是污染的原因，擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)掃描電鏡需要的維護(hù)周期要短得多，***般建議3個(gè)月維護(hù)***次，而同樣工作條件，渦輪分子泵真空系統(tǒng)的***般建議是1年維護(hù)***次。
綜上所述：在***次操作周期內(nèi)對(duì)效率影響***大的因素，自動(dòng)化程度越高，效率越高。應(yīng)該是樣品臺(tái)的自動(dòng)化程度和真空潔凈程度；電子光學(xué)性能需要定位，5000倍以下，不明顯，5000倍以上就顯示高分辨和自動(dòng)化的優(yōu)勢(shì)。
通過(guò)以上簡(jiǎn)單分析，對(duì)CX-200系列型號(hào)作如下推薦，原則是不至于讓您感到特別疲倦，讓您專注于材料的特征觀察分析。
1、如果您有大量的樣品要做，但要求管理維護(hù)簡(jiǎn)單方便，應(yīng)該選擇***高效率的CX-200TA型，
2、如果您有大量的樣品要做，同時(shí)可以接受較短的維護(hù)周期，可以選擇CX-200DA型
3、如果您的樣品量不算大，但隨時(shí)想看，又不希望花過(guò)大精力照顧掃描電鏡，請(qǐng)選擇 CX-200TM型
4、如果您的樣品量不算大，可以安排專門(mén)操作人員“照顧”掃描電鏡，可以選擇更加經(jīng)濟(jì)的CX-200DM型
二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點(diǎn)：
2.1、可實(shí)現(xiàn)功能：標(biāo)配SE形貌像，可選配 BSE探測(cè)器成像，WDS, EDS微區(qū)元素分析，+CCD樣品室監(jiān)控
2.2、基本性能特點(diǎn)
(1)、分辨率（ 3.0nm@ 30kv ，10nm@ 3kv），錐形物鏡，長(zhǎng)焦性能優(yōu)越。
(2)、中型樣品室內(nèi)部尺寸直徑為210mm，可同時(shí)接配多種探測(cè)器；
五軸精密機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái)，自動(dòng)或者手動(dòng)控制。自動(dòng)臺(tái)計(jì)算機(jī)導(dǎo)航控制，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)精度19nm/步，Point & Go操作，具有坐標(biāo)定位系統(tǒng)，點(diǎn)擊臨時(shí)存儲(chǔ)的圖像，樣品上的該位置能夠自動(dòng)返回掃描視野中心；樣品上的z軸調(diào)節(jié)范圍5-65mm，實(shí)現(xiàn)對(duì)大型樣品，和很大高度梯度樣品的靈活操縱，使用自動(dòng)臺(tái)，用戶可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品更快速的評(píng)估和測(cè)量。
(3)、真空系統(tǒng)為渦輪分子泵真空系統(tǒng)，高效清潔節(jié)能； 或者更具經(jīng)濟(jì)性的擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)。
(4)、全數(shù)字化電器控制系統(tǒng)，與主機(jī)集成為***體，結(jié)構(gòu)緊湊，穩(wěn)定可靠，與計(jì)算機(jī)通訊采用USB/PCI接口。整機(jī)可輕松在很大范圍內(nèi)移動(dòng)。
(5)、數(shù)字化掃描系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)從實(shí)時(shí)基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式，這相對(duì)CX-100有了顯著提高。在照相模式下，具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供***好的視覺(jué)質(zhì)量。
(6)、自動(dòng)控制:自動(dòng)電子槍***大亮度，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散，自動(dòng)亮度對(duì)比度控制，自動(dòng)電子束對(duì)中，自動(dòng)電子槍加飽和，自動(dòng)偏壓，物鏡光闌自動(dòng)搖擺對(duì)中合軸，增加了傾斜補(bǔ)償和自動(dòng)聚焦功能。具有這些功能，用戶將能夠更輕松操作儀器。
(7)、GUI操作軟件：多種快捷按鈕，操作簡(jiǎn)單方便，同時(shí)允許用戶自定義熱鍵，允許更高效的操作；圖像灰度直方圖實(shí)時(shí)顯示，可以幫助用戶保持***佳的圖像質(zhì)量；雙圖像顯示，允許用戶輕松比較不同圖像的差別；產(chǎn)品能夠使用MS-Office軟件生成報(bào)告，允許用戶創(chuàng)建數(shù)據(jù)。
三、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
CX-200系列掃描電鏡具有和諸如日立、JEOL、卡爾.蔡司、TESCAN同等***別的產(chǎn)品幾乎完全相同的品質(zhì)，然而，我們公司正在銷(xiāo)售的這些型號(hào)更加經(jīng)濟(jì)，更加友好 。
通過(guò)韓***領(lǐng)導(dǎo)納米發(fā)展的大學(xué)、研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)的使用，已經(jīng)證明CX-100S產(chǎn)品具有優(yōu)良的性價(jià)比,而CX-200系列產(chǎn)品相對(duì)更加出色，更受客戶歡迎，2011年初已經(jīng)銷(xiāo)售10臺(tái)。
特別在售后服務(wù)方面，我們公司不僅有工程師，而且還有韓***科學(xué)技術(shù)院水平的研究人員參與為客戶服務(wù)。我們公司將重點(diǎn)放在這些研究人員的直接貢獻(xiàn)上，快速適應(yīng)客戶需要，改變社會(huì)，保持產(chǎn)品經(jīng)濟(jì)更好。我們公司也接受批評(píng)、建議或者意見(jiàn)，從而使我們產(chǎn)品的質(zhì)量像消費(fèi)者所希望的那樣更好。COXEM北京辦公室，配置專******的掃描電鏡應(yīng)用工程師和具有30年掃描電鏡制造維修經(jīng)驗(yàn)的高***工程師，這***點(diǎn)相比再?gòu)?qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手都毫不遜色，而且我們更加專業(yè)。
我們公司竭盡全力制造和發(fā)展客戶您所需要的掃描電鏡產(chǎn)品。我們真誠(chéng)希望，如果您有樣品或者問(wèn)題，您會(huì)和我們聯(lián)系，因?yàn)槲覀儫o(wú)論如何都愿意盡可能幫助您。
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