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RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀

基于JIS R-3255標準，以MICRO SCRATCH法評價光學薄膜、半導體擴散工程、表面改質以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強度）的超薄膜附著強度測試儀。為成膜研究與測試所必備的測試設備。

CSR-5000超薄膜附著強度測試儀特點：

1.CSR-5000采用高感度的能夠檢測出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測試納米***別的薄膜的附著強度。

2.可測量膜厚μm以下的超薄膜的密著強度。

3.加熱環境下評價可能。

4.鏡片等曲面測量可能。

5.可以進行以特定荷重來評價的特定負荷測試

6.測試部位的設定以及測試后的劃傷觀察等簡單易行

7.測試不需要花費很多時間(1次測試約1～2分鐘)

RHESCA超薄膜附著強度測試儀CSR-5000規格

荷重印加范圍：1mN ～1500mN

荷重分解能：0.3mN

允許過負荷：300%FS

剝離檢出（垂直方向）檢出信號，加速度信號

頻率范圍：20Hz ～10kHz

摩擦力檢出（水平方向）檢出信號，速度信號

頻率范圍：20Hz ～10kHz

傳感器勵振機構勵振頻率：45Hz

勵振振幅：0·5·10·20·40·50·80·100μm

探針 觸針形狀：1.6×6.5mm

尖端材質 / 尖端形狀金剛石R 5?10?15?25?50?100μm

尖端材質 / 尖端形狀藍寶石R 250?500μm

Z 軸驅動機構

驅動范圍：20mm

驅動分解能：0.5μm

驅動速度(測試時)0 ～20μm/s

驅動速度(準備時)1mm/s

試料臺XY軸移動機構驅動方式:千分尺手動調節

移動范圍:±6.5mm

Data輸出方式:USB

尺寸及重量:W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡

電源:AC100V ～240V

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