CM系列探針臺
產品簡介
CM系列 探針臺造型小巧，測量精度高，操作方便，符合人機工程學。主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發。
CM探針臺能夠勝任的測試有：
二、工作環境
l 探針臺應放在穩定可靠的臺面上，是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
l 使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。
l 使用電源：220±10%，50~60Hz
三、技術參數：
1、主要性能參數：
規格 |
Chuck | 4" 不銹鋼，真空吸附型，獨立開關控制 |
Chuck X-Y軸行程，精度 | 4" x4"，<10um |
Chuck 旋轉角度 | 0~360 度 |
Chuck 旋轉角度微調精度 | 0.01° |
Chuck快速升降 | 5mm |
Chuck 平整度 | 5um |
針座平臺 | U型設計，可放置8個BT 型針座 |
針座平臺平整度 | 5 um |
顯微鏡Z軸行程，精度 | 2"，細調精度0.1um |
需求 |
電力 | 220 VAC, 60Hz |
|
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
400mm寬*4000mm長*400mm高（帶顯微鏡） |
重 30 Kg（帶顯微鏡） |
可選附件 |
激光切割 |
加熱臺 |
防震桌 |
顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測 |
光強/波長測試接口部件 |
射頻測試探頭和線纜 |
有源探頭 |
低電流/電容測試 |
高壓測試 |
CCD視頻系統 |
液晶漏電分析套裝 |
屏蔽箱 |
鍍金Chuck |
探針夾具安裝：
● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據需要進行上下調節位置
● 將探針座擺放在U型平臺上固定好，擰松傾仰夾頭4個螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內，調整合適位置后擰緊螺絲
● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調整好位置后放松彈簧（注意：操作過程中不要觸碰到針尖，否則針尖會變彎）
（傾仰夾頭） （夾頭按需要可上下調節）
（將此滑套往后推，用鑷子夾住探針推入夾針孔內） （將鎖緊螺母擰松，將夾具桿推入合適的位置）
配件
1、體式顯微鏡 （可選配高倍率晶相顯微鏡）
產品參數和特點：
① 鑒別力高，視場范圍大，景深長。
② 工作距離長至115mm。
③ 左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
④ 能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
⑤ 本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
⑥ 雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.
產品優點：
產品造型比較新穎。
機械特性優越，操作舒適度高。
光學系統鑒別力達300線對以上，符合標準。
超長的工作距離位于***內同行之***。
獨有的3A設計。
創見性人機學設計，產品細節考慮全面。
3A特性：
密封性－－－－－－-防塵,防油防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵防油防水或其它污染－－－－-這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性－－－－－－使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電－－－－－－防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提高產量和降低產品成本
應用領域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等領域。
2、針座和探針夾具（可選）
針座規格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z線性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
3、JVC模擬CCD
特點
l 1/3寸CCD,44萬像素
l 535電視線的水平分辨率
l 0.7Lux的照度（F1.2，25%，AGC開啟）
l 50dB的高信噪比（AGC OFF）
l 內置10bit 數字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡
特性
l 可選擇的影像來源信號
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設備，如錄放影機、***庭攝影機、雷射光碟機、
影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。
l 可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或***般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種***與剪接編輯
4、探針夾具
● 彈簧式
使用便利，可用于較短時間的大電流（超過1安培）穩定性好，采用進口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭
● 管狀式
測量微弱電流用，同時可接高壓，采用進口triax線纜，前端管裝屏蔽結構，漏電小于100FA，高壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱）
5、探針
美***GGB
型號 | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長 | 材質 | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內部線路點針 
|
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電極點針 
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ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
6、真空泵
日東工器VP0125
規格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 真空度：-60KPa
l 質量：0.7Kg
功能
l 提供真空動力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。
特點
● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。
7、防震桌
特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德***FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。
應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。
技術參數：
臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼
平臺表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
具體尺寸可根據客戶需求定制
8、屏蔽箱
CINDBEST CB-6
參數和特點
l 尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm高
l 屏蔽光線和電磁干擾。
l 匹配探針臺和防震桌設計。
l 與探針夾具配合可將測試電信號的漏電精度達到100fa ，可抗2000V高壓。
l 屏蔽箱上配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。
l 上掀式結構，節約空間，操作便捷。
l 可根據客戶需求定制。
探針臺的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
常見問題
當您使用本儀器時，可能會碰到***些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。
癥狀 | 可能原因 | 解決方法 |
移動樣品后畫面變模糊 | 顯微鏡不垂直 | 調垂直顯微鏡 |
樣品臺不水平 | 調水平樣品臺 |
樣品不平 | |
顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像 | 轉換器不在定位位置上 | 把轉換器轉到定位位置上 |
管鏡轉盤不在定位位置上 | 把管鏡轉盤轉到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大 |
沒有裝目鏡 | 裝上目鏡 |
沒有裝物鏡 | 裝上物鏡 |
顯微鏡像質變差 | 目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟 | 對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔 |
孔徑光欄關的太大或者太小 | 調節孔徑光欄 |
沒有調好焦 | 調節調焦手輪 |
樣本上蓋有蓋玻片等介質 | 移開蓋玻片等介質 |
圖像***邊清晰，***邊模糊 | 樣本傾斜放置 | 放平樣本，或者調節樣品臺水平 |
物鏡沒有旋緊 | 旋緊物鏡 |
眼睛容易疲勞 | 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 | 調節雙目頭的瞳距 |
| 目鏡視度調節不正確 | 調節目鏡視度 |
| 照明亮度不合適 | 調節光源亮度或者孔徑光欄孔 |
注意事項
1、避免碰撞
l 在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。
2、儀器的運輸
l 儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
l 儀器運輸應使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
3、儀器的存放
l 使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。
l 探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。
l 探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。
l 停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.
l 操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。
滬公網安備31011502016460號
