規格
臺體：
型號 CS-4/CS-6
樣品臺尺寸 4英寸/6英寸
水平旋轉 可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸
X-Y移動精度 10微米/1微米
樣品固定 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環
針座平臺 U型針座平臺，*多可放置8個探針座
背電極測試 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍 室溫到300度/室溫到400度/室溫到600度
溫控精度 1度/0.1度/0.01度
穩定性 ±1度/±0.1度
外形尺寸 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高/840mm長*600mm寬*700mm高
重量 約30千克/60千克/100千克
光學系統：
顯微鏡類型 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率 16X-200X/20X-4000X
移動行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm
光源 外置LED環形光源/同軸光源
CCD 200萬像素/500萬像素/1200萬像素
定位器：
X-Y-Z移動行程 12mm*12mm*12mm
移動精度 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式 磁力吸附/真空吸附
線纜 同軸線/三軸線
漏電精度 10pA/100fA/10fA
固定探針 彈簧固定/管狀固定
接頭類型 BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
針尖材質 鎢鋼/鈹銅
可選附件
水冷裝置
顯示器
轉接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
光學平臺
鍍金卡盤
光電測試配件
高壓測試配件
顯微鏡快速傾仰裝置
激光系統
探針卡夾具
滬公網安備31011502016460號
