真空：極限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢復工作真空時間：連接手套箱≤10分鐘
不連接手套箱，充干燥氮氣≤30分鐘
本套設備配有8個有機源及2個金屬源
金屬蒸發源和有機蒸發源可按客戶要求配置
膜厚探頭及膜厚儀有***產或者進口可選
金屬蒸發源配有1000w電源
有機蒸發源配有可控溫電源，控溫精度±1℃
技術指標：
1. 真空室的極限真空度達5*10-5pa，漏率為關機12小時≤5pa
2. 真空腔內配有集約樣品臺***套，配有大擋板和16套小擋板，手動
控制，開關方便快捷，每個小擋板擋兩塊30*30mm樣片
3. 蒸發源共14套，其中10套有機蒸發源，4套金屬蒸發源。控溫
精度±1℃，可以實現溫度或電流補償實現蒸鍍速率穩定的功能
4. 金屬蒸發源配4臺***帶***1000W可控硅調壓電源，通過銅電極
連接，兩端可夾鎢絞絲或者鉭舟，鎢絞絲可以蒸鍍絲狀或者大顆粒
材料，鉭舟可以蒸鍍粉末狀材料，蒸發源采用陶瓷全密封，避免交
叉污染
5. 有機蒸發源配10臺***帶***溫控電源，有機源溫度為室溫-500度，
可以根據材料及用戶需求自行調節
6. 樣品臺具有旋轉、升降功能，可在線更換掩膜板***次，可同時裝
載30mm*30mm樣品16塊。本產品每兩個樣品都配有小擋板，
并且通過PLC控制步進電機對每個小擋板做16個定位，使機械手
推拉小擋板，樣品與蒸發源之間的間距為200-300mm
滬公網安備31011502016460號
